Adams, Daniel
Silver Metallization
Table of contents
1. Introduction
2. Silver Thin Film Characterization
3. Diffusion Barriers and Self-encapsulation
4. Thermal Stability
5. Silver Electromigration Resistance
6. Integration Issues
7. Summary
DRM-restrictions
Printing: not available
Clipboard copying: not available
Nyckelord: SCIENCE / Chemistry / General SCI013000
- Författare
- Adams, Daniel
- Alford, Terry L.
- Mayer, James W.
- Utgivare
- Springer
- Utgivningsår
- 2008
- Språk
- en
- Utgåva
- 1
- Kategori
- Naturvetenskaper
- Format
- E-bok
- eISBN (PDF)
- 9781848000278
