Sisäänkirjautuminen

Büttgenbach, Stephanus

Mikrosystemtechnik

Büttgenbach, Stephanus - Mikrosystemtechnik, e-kirja

11,45€

E-kirja, PDF, Adobe DRM-suojattu
ISBN: 9783662497739
DRM-rajoitukset

TulostusEi sallittu
Kopioi leikepöydälleEi sallittu

Table of contents

1. Einleitung
Stephanus Büttgenbach

2. Transistoren und Siliziumtechnologie
Stephanus Büttgenbach

3. Der piezoresistive Effekt
Stephanus Büttgenbach

4. Volumenmikromechanik
Stephanus Büttgenbach

5. LIGA-Verfahren
Stephanus Büttgenbach

6. Oberflächenmikromechanik
Stephanus Büttgenbach

7. Reaktives Ionentiefenätzen
Stephanus Büttgenbach

8. Softlithografie
Stephanus Büttgenbach

9. Mikrofluidische Chips und Chip-Labore
Stephanus Büttgenbach

10. Direkte Methoden der Mikrostrukturierung
Stephanus Büttgenbach

11. Mikro-Nano-Integration
Stephanus Büttgenbach

12. Ausblick
Stephanus Büttgenbach

Avainsanat: Popular Science, Popular Science in Technology, Nanotechnology and Microengineering

Tekijä(t)
Julkaisija
Springer
Julkaisuvuosi
2016
Kieli
de
Painos
1
Sarja
Technik im Fokus
Sivumäärä
9 sivua
Kategoriat
Eksaktit luonnontieteet
 
Tekniikka, energia, liikenne
Tiedostomuoto
E-kirja
eISBN (PDF)
9783662497739
Painetun ISBN
978-3-662-49772-2

Samankaltaisia e-kirjoja