Büttgenbach, Stephanus
Mikrosystemtechnik
1. Einleitung
Stephanus Büttgenbach
2. Transistoren und Siliziumtechnologie
Stephanus Büttgenbach
3. Der piezoresistive Effekt
Stephanus Büttgenbach
4. Volumenmikromechanik
Stephanus Büttgenbach
5. LIGA-Verfahren
Stephanus Büttgenbach
6. Oberflächenmikromechanik
Stephanus Büttgenbach
7. Reaktives Ionentiefenätzen
Stephanus Büttgenbach
8. Softlithografie
Stephanus Büttgenbach
9. Mikrofluidische Chips und Chip-Labore
Stephanus Büttgenbach
10. Direkte Methoden der Mikrostrukturierung
Stephanus Büttgenbach
11. Mikro-Nano-Integration
Stephanus Büttgenbach
12. Ausblick
Stephanus Büttgenbach
Avainsanat: Popular Science, Popular Science in Technology, Nanotechnology and Microengineering
- Tekijä(t)
- Büttgenbach, Stephanus
- Julkaisija
- Springer
- Julkaisuvuosi
- 2016
- Kieli
- de
- Painos
- 1
- Sarja
- Technik im Fokus
- Sivumäärä
- 9 sivua
- Kategoriat
- Eksaktit luonnontieteet
- Tekniikka, energia, liikenne
- Tiedostomuoto
- E-kirja
- eISBN (PDF)
- 9783662497739
- Painetun ISBN
- 978-3-662-49772-2