Sisäänkirjautuminen

Frühauf, Joachim

Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

Frühauf, Joachim - Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique, e-kirja

126,45€

E-kirja, PDF, Adobe DRM-suojattu
ISBN: 9783540268765
DRM-rajoitukset

TulostusEi sallittu
Kopioi leikepöydälleEi sallittu

Table of contents

1. Introduction
2. Technological Basis of Bulk-Silicon-Microtechnique
3. Orientation Dependent Etching of Silicon
4. General Overview of the Shape- and Functional Elements and the Procedure of their Design
5. Simple Shape Elements
6. Elements for Mechanical Applications
7. Elements for Fluidic Applications
8. Elements for Optical Applications

DRM-restrictions

Printing: not available
Clipboard copying: not available

Avainsanat: SCIENCE / Chemistry / General SCI013000

Tekijä(t)
Julkaisija
Springer
Julkaisuvuosi
2005
Kieli
en
Painos
1
Kategoria
Eksaktit luonnontieteet
Tiedostomuoto
E-kirja
eISBN (PDF)
9783540268765

Samankaltaisia e-kirjoja