Xu, Yongdong
Chemical Vapour Deposition
Table of contents
1. Introduction to Chemical Vapour Deposition
2. Physical Fundamentals of Chemical Vapour Deposition
3. Chemical Vapour Deposition Systems Design
4. Thermodynamics and Kinetics of Chemical Vapour Deposition
5. Chemical Vapour Infiltration
6. Microstructure Evolution and Process Control
Avainsanat: Engineering, Operating Procedures, Materials Treatment, Materials Science, general
- Tekijä(t)
- Xu, Yongdong
- Yan, Xiu-Tian
- Julkaisija
- Springer
- Julkaisuvuosi
- 2010
- Kieli
- en
- Painos
- 1
- Sarja
- Engineering Materials and Processes
- Sivumäärä
- 356 sivua
- Kategoria
- Tekniikka, energia, liikenne
- Tiedostomuoto
- E-kirja
- eISBN (PDF)
- 9781848828940
