Landis, Stefan
Lithography
This book deals with essential technologies and processes, primarily used in industrial manufacturing of microprocessors and other electronic components.
Avainsanat: sousa; de; introduction noronha; foreword; scanners; enhancement; besacier; maxime; lithography; ultraviolet; introduction; extreme; index; electromagnetic; materials; properties; complex; reflective; euv, Process Development, Process Development
- Toimittaja
- Landis, Stefan
- Julkaisija
- John Wiley and Sons, Inc.
- Julkaisuvuosi
- 2010
- Kieli
- en
- Painos
- 1
- Sarja
- ISTE
- Sivumäärä
- 320 sivua
- Kategoria
- Tekniikka, energia, liikenne
- Tiedostomuoto
- E-kirja
- eISBN (ePUB)
- 9781118621189
- Painetun ISBN
- 9781848212022