Adams, Daniel
Silver Metallization
Table of contents
1. Introduction
2. Silver Thin Film Characterization
3. Diffusion Barriers and Self-encapsulation
4. Thermal Stability
5. Silver Electromigration Resistance
6. Integration Issues
7. Summary
DRM-restrictions
Printing: not available
Clipboard copying: not available
Avainsanat: SCIENCE / Chemistry / General SCI013000
- Tekijä(t)
- Adams, Daniel
- Alford, Terry L.
- Mayer, James W.
- Julkaisija
- Springer
- Julkaisuvuosi
- 2008
- Kieli
- en
- Painos
- 1
- Kategoria
- Eksaktit luonnontieteet
- Tiedostomuoto
- E-kirja
- eISBN (PDF)
- 9781848000278
