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Büttgenbach, Stephanus

Mikrosystemtechnik

Büttgenbach, Stephanus - Mikrosystemtechnik, ebook

12,90€

Ebook, PDF with Adobe DRM
ISBN: 9783662497739
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Table of contents

1. Einleitung
Stephanus Büttgenbach

2. Transistoren und Siliziumtechnologie
Stephanus Büttgenbach

3. Der piezoresistive Effekt
Stephanus Büttgenbach

4. Volumenmikromechanik
Stephanus Büttgenbach

5. LIGA-Verfahren
Stephanus Büttgenbach

6. Oberflächenmikromechanik
Stephanus Büttgenbach

7. Reaktives Ionentiefenätzen
Stephanus Büttgenbach

8. Softlithografie
Stephanus Büttgenbach

9. Mikrofluidische Chips und Chip-Labore
Stephanus Büttgenbach

10. Direkte Methoden der Mikrostrukturierung
Stephanus Büttgenbach

11. Mikro-Nano-Integration
Stephanus Büttgenbach

12. Ausblick
Stephanus Büttgenbach

Keywords: Popular Science, Popular Science in Technology, Nanotechnology and Microengineering

Author(s)
Publisher
Springer
Publication year
2016
Language
de
Edition
1
Series
Technik im Fokus
Categories
Natural Sciences
 
Technology, Energy, Traffic
Format
Ebook
eISBN (PDF)
9783662497739
Printed ISBN
978-3-662-49772-2

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