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Menz, Wolfgang

Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Menz, Wolfgang - Mikrosystemtechnik für Ingenieure, ebook

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Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.

Keywords: MEMS and Nanoelectronics

Author(s)
 
Editor
Publisher
John Wiley and Sons, Inc.
Publication year
2012
Language
de
Edition
3
Page amount
590 pages
Category
Technology, Energy, Traffic
Format
Ebook
eISBN (ePUB)
9783527663460

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